• Skip to main menu
• Skip to search engine
• Skip to content
• Skip to footer

• Search in all Repository
• Literature and maps
• Archeology
• Mills database
• Natural sciences

Search in Repository

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Name/Title Geographical location Relation Subject and Keywords

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Name/Title Geographical location Relation Subject and Keywords

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Literature and maps

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Title Relation Author/Creator Subject and Keywords Publisher Publishing date Spatial coverage

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Title Relation Author/Creator Subject and Keywords Publisher Publishing date Spatial coverage

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Archeology

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Name Localisation Object type Research Manager/ Creator of Collection Chronology Relation Characteristics of the object- raw material Accession number

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Name Localisation Object type Research Manager/ Creator of Collection Chronology Relation Characteristics of the object- raw material Accession number

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Mills database

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Unified name Localisation Object type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Unified name Localisation Object type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Natural sciences

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Herbarium acronym catalogNumber/barcode Supra-generic category Latin name Polish name Localisation Collection date Collector/ Recorded by Type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Herbarium acronym catalogNumber/barcode Supra-generic category Latin name Polish name Localisation Collection date Collector/ Recorded by Type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Nomenclature type

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Secured publication

Sending declined. Incorrect text from the image.

Sending declined. reCAPTCHA verification has failed.

This publication is unavailable to your account. If you have more privileged account please try to use it or contact with the institution connected to this digital library.

Type your email^* Type your reason^*

Enter the text above. ^*

Cancel Send

Object

Download bibliography description

• ris
• BibTeX
• EndNote
• Csv

• pl en

Subscribtion state has been changed.

Error while changing subscribtion state.

• Show content

Download

• Description
• Information
• Structure

Title: Modelowanie procesu epitaksji z fazy gazowej = The modeling of the CVD epitaxial process

Creator:

Korec Jacek

Date issued/created:

1985

Resource type:

Text

More

Subtitle:

Proceedings of ITME 1985 z. 15

Publisher:

Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"

Place of publishing:

Warszawa

Description:

104 s. : il. 24 cm. ; Bibliogr. s. 101-103

Relation:

Proceedings of ITME

Issue:

15

Start page:

3

End page:

104

Detailed Resource Type:

Article

Format:

application/pdf

Resource Identifier:

oai:rcin.org.pl:31005

Source:

ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link

Language:

pol

Rights:

Rights Reserved - Free Access

Terms of use:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitizing institution:

Institute of Electronic Materials Technology

Original in:

Library of the Electronic Materials Technology Institute

Projects co-financed by:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Access:

Open

Subject and keywords:

Electronic - journal - material Electronic materials CVD modeling of epitaxial process Si

Object collections:

• Digital Repository of Scientific Institutes > Partners' collections > Łukasiewicz Research Network - Institute of Microelectronics and Photonics > ITME works
• Digital Repository of Scientific Institutes > Literature > Books/Chapters

Last modified:

Oct 2, 2020

In our library since:

Jul 9, 2013

Number of object content downloads / hits:

724

All available object's versions:

https://rcin.org.pl./publication/17852

Show description in RDF format:

RDF

Show description in RDFa format:

RDFa

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

• PRACE ITME
  • PRACE ONPMP
  • PRACE ITME
    • Tomasik Edmund, Wpływ dodatku fosforu na niektóre własności fizykochemiczne i lutowwnicze eutektycznego stopu SnPb
    • Sikorski Krzysztof, Mikroanaliza rentgenowska cienkich warstw
    • Hozer Leszek, Tworzywo warystorowe na bazie ZnO - badania mikrostruktury i własnościu elektrycznych
    • Senkara Jacek, Wpływ antymonu na zjawiska powierzchniowe w procesie wytwarzania kompozytu W-CuSb
    • Wierzchowski Wojciech, Odwzorowywanie dyslokacji w krzemowych warstwach epitaksjalnych metodami odbiciowymi rentgenowskiej topografii dyfrakcyjnej
    • Badzian Andrzej, Syntezy wysokociśnieniowe kryształów o strukturze typu diamentu i ich struiktura atomowa w świetle badań rentgenowskich
    • Naumowicz Piotr, Defekty wzrostowe w kryształach granatu gadolinowo-galowego
    • Boniecki Marek, Analiza własności mechanicznych materiałów ceramicznych metodami mechaniki pękania
    • Korec Jacek, Modelowanie procesu epitaksji z fazy gazowej
    • Bajor Andrzej, Fotometryczna metoda pomiaru naprężeń w materiałach półprzewodnikowych
    • Taczanowski Andrzej, Helowe wykrywacze nieszczelności. Budowa i zastosowanie
    • Adamkiewicz Grażyna, Badanie naprężeń w krzemie otrzymanym metodą Czochralskiego
    • Pawłowska Marta, Badanie aktywności elektrycznej defektów strukturalnych w monokryształach półprzewodnikowych
    • Abgarowicz Ewa, Diament syntetyczny. Cz. I. Wybrane zagadnienia syntezy diamentu
    • Abgarowicz Ewa, Diament syntetyczny. Cz. II. Metody badania własności i zastosowania
    • Stróż Kazimierz, Precyzja wyników mikroanalizy rentgenowskiej i metody jej podwyższenia
    • Kłokocki Andrzej, Zastosowanie spektrometru z rozbieżną wiązką promieniowania w badaniach widm rentgenowskich
    • Hozer Leszek, Interpretacja procesu degradacji parametrów elektrycznych tworzywa warystorowego na bazie ZnO w warunkach pracy
    • Bajor Andrzej, Zastosowanie metody Muellera do analizy zjawiska dwójłomności wymuszonej mechanicznie w materiałach półprzewodnikowych
    • Pietrzak Katarzyna, Spajalność ceramiki tlenkowej typu Al2O3 z miedzią w zależności od stosowanych technik
    • Strupiński Włodzimierz, Wytwarzanie cienkich warstw fosforku galu metodą epitaksji z fazy gazowej
    • Niedbalska Alicja, Wpływ prekursora organicznego na obniżenie ciśnień zarodkowania i wzrostu kryształów diamentu
    • Gąsiorowski Zdzisław, Wytwarzanie rutenianów bizmutu i ołowiu - materiałów elektronicznych
    • Pawłowska Marta, Badanie doskonałości struktury monokryształów GaAs o obniżonej gęstości dyslokacji
    • Gładki Andrzej, Nieokreśloność w niektórych metodach ilościowej analizy metalorganicznej
    • Dulska-Wehr Anna, Analiza termodynamiczna utleniania metalui trudnotopliwych i reducji ich tlenków
    • Bugajski Maciej, Nowe technologie wytwarzania złożonych struktur półprzewodnikowych
    • Jakubowska Małgorzata, Fizykochemia spiekania przewodzącej warstwy miedziowej
    • Boniecki Marek, Rola mikrostruktury i wewnętrznych naprężeń cieplnych w zwiększeniu odporności na pękanie ceramiki na bazie Al2O3
    • Kamiński Paweł, Zastosowanie niestacjonarnej spektroskopii głębokich poziomów do badania struktury defektowej półprzewodników typu AIIIBV
    • Paduch Józef, Podstawy ilościowej mikroanalizy rentgenowskiej w analitycznej mikroskopii elektronowej
    • Grześ Jarosław, Właściwości użytkowe i mikrostruktura wybranych powłok stopowych Ni-W-Co uzyskanych w procesie nakładania tamponowego
    • Kociszewski Longin, Basic properties and applications of advanced glass optical fibers
    • Petrovskij Vitalij Ja., Ceramika z azotku krzemu
    • Berkowski Marek, Wzrost monokryształów wieloskładnikowych związków tlenkowych metodą Chochralskiego
    • Wierzchowski Wojciech, Badania realnej struktury monokryształów i warstw epitaksjalnych z zastosowaniem promieniowania synchrotronowego i symulacji obrazów dyfrakcyjnych
    • Bukowski Jacek, Analiza wolframu i tantalu za pomocą spektrografu masowego ze wzbudzeniem iskrowym
    • Cendrowski Sławomir, Metody pomiaru elektryzacji statycznej folii z tworzyw sztucznych
    • Szymański Dariusz, Metody pomiaru parametrów aplikacyjnych past i warstw grubych. Cz. I
    • Szymański Dariusz, Metody pomiaru parametrów aplikacyjnych past i warstw grubych. Cz. II
    • Wehr Anna, Wpływ miedzi na złącza międzyfazowe srebro-nikiel
    • Bajor Andrzej L., Some problems of optical inhomogeneity testing in crystalline materials by imaging polarimetry
    • Inżynieria Materiałów Elektronicznych. II Seminarium zorganizowane pod patronatem KBN, 16 grudnia 1997 r.
    • Palczewska Maria, Charakteryzacja defektów paramagnetycznych w związkach półprzewodnikowych typu AIIIBV metodą ESR
    • Gawlik Grzegorz, Wpływ warunków implantacji i obróbki cieplnej na strukturę stopów żelaza
    • Gałązka Zbigniew, Teoretyczna i doświadczalna analiza naprężeń cieplnych i resztkowych w wybranych kryształach tlenkowych
    • Grabias Agnieszka, Struktura i własności magnetyczne amorficznych i nanokrystalicznych stopów FeZrB(Cu)
    • Kaliński Dariusz, Opracowanie spoiwa kompozytowego do spajania ceramiki korundowej z metalami
    • Nowe Materiały, Technologie, Mikrosystemy, a 5.Ramowy Program Badań, Rozwoju Technicznego i Prezentacji Unii Europejskiej (1998-2002), 8-10 grudnia 1999 r.
    • Wzrost i Charakterystyka Kryształów. Sympozjum Naukowe, 6-7 kwiatnia 2000 r., Katowice, Polska. Materiały
    • Inżynieria Materiałów Elektronicznych. II Seminarium zorganizowane pod patronatem KBN 16 grudnia 1997 roku
    • Sass Jerzy, Rentgenodyfrakcyjna analiza odkształceń koherentnych w półprzewodnikowych strukturach warstwach AIIIBV
    • Sprawozdanie z działalności Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w roku 1995
    • Cybulski Piotr, Problemy automatyzacji czynności pomiarowych w badaniach i technologiach występujących na terenie CNPME Piotr Cybulski, Tadeusz Żero.
    • Cybulski Piotr, Automatyczny zestaw pomiarowy dla określania oporności właściwej metodą rozpływu oporności
    • Kędra Jerzy, Zestaw zbiorczej cyfrowej rejestracji temperatury CRT-1
    • Kędra Jerzy, Interface typu IDV-4 do współpracy woltomierza V-530 z drukarką VA-G-24A
    • Kędra Jerzy, Uniwersalny segregator do podziału na pięć grup dowolnych wielkości zmienionych na sygnał napięciowy
    • Matusewicz Stefan, Urządzenie adaptujące wyniki pomiaru Halla do rejestratora X - Y
    • Nagłowski Piotr, Matematyczny model filtru z fala powierzchniową
    • Sprawozdanie z działalności Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w roku 1998
    • Inżynieria Materiałowa - Materiały Elektroniczne. Seminarium organizowane pod patronatem KBN
    • Rak Zbigniew S., Uwarunkowania i możliwości formowania ciśnieniowego ceramiki z zastosowaniem różnych mediów poślizgowo-wiążących
    • Wzrost i Charakteryzacja Kryształów Objętościowych. Sympozjum Poznań, 25.04-26.04.2002
    • Wojtkowski Tadeusz, Termistorowy miernik temperatury
    • Kaczyński Łukasz, Metody korekcyjne ilościowej mikroanalizy rentgenowskiej pierwiastków lekkich
    • Boniecki Marek, Zjawisko nadplastyczności w wybranych ceramikach tlenkowych
    • Olesińska Wiesława, Spajanie ceramiki z metalami

Edition name	Date
Korec Jacek, Modelowanie procesu epitaksji z fazy gazowej	Oct 2, 2020

Objects Similar

Ograniczenie zjawiska samodomieszkowania w epitaksji krzemu = Limitation of the autodoping effects a silicon epitaxy

Nossarzewska-Orłowska Elżbieta

1985

Text

• ris
• BibTeX

Epitaksja odwrotna w technologii otrzymywania krzemowych przyrządów półprzewodnikowych = Reversed epitaxy in the silicon devices technology

Nossarzewska-Orłowska Elżbieta

1978

Text

• ris
• BibTeX

Badania zależności składu i struktury chemicznie osadzonych warstw azotku krzemu od parametrów procesu technologicznego = Investigation of chemically deposited Si3N4 films composition and structure-depending on technological process parameters

Skrzynecka Irena

1974

Text

• ris
• BibTeX

Metoda dwutemperaturowego wzrostu krzemowych warstw epitaksjalnych = Two-temperature growth of Si epitaxial layers

Borkowicz Jerzy

1975

Text

• ris
• BibTeX

Badanie maskowania procesu termicznego utleniania krzemu przez chemicznie osadzane warstwy azotku krzemu = Masking investigation of silicon thermal oxidation process by chemically deposited Si3N4 films

Skrzynecka Irena

1975

Text

• ris
• BibTeX

Krzemowe warstwy homoepitaksjalne = Homoepitaxial silicon layers

Korec Jacek

1978

Text

• ris
• BibTeX

Epitaksja GaP/GaP z fazy gazowej dla przyrządów emitujących swiatło żółto-zielone. Własności strukturalne i elektrooptyczne = Vapour phase epitaxy for devices emitting the yellow-green light the structural and electrooptical properties

Strupiński Włodzimierz

1985

Text

• ris
• BibTeX

Tendencje technologiczne w produkcji płytek krzemowych = Trends in silicon wafers production

Drzewiecki Paweł

1976

Text

• ris
• BibTeX

More

similar in FBC

More in FBC