Badanie maskowania procesu termicznego utleniania krzemu przez chemicznie osadzane warstwy azotku krzemu - Digital Repository of Scientific Institutes

Skip to main menu
Skip to search engine
Skip to content
Skip to footer

Badanie maskowania procesu termicznego utleniania krzemu przez chemicznie osadzane warstwy azotku krzemu

Download

Title: Badanie maskowania procesu termicznego utleniania krzemu przez chemicznie osadzane warstwy azotku krzemu

Creator:

Skrzynecka Irena

Date issued/created:

Resource type:

Subtitle:

Materiały Elektroniczne 1975 nr 1(9)

Publisher:

Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"

Place of publishing:

Description:

s. 36-39 : il. ; Bibliogr. s. 39

Relation:

Materiały Elektroniczne

Volume:

Issue:

Start page:

End page:

Detailed Resource Type:

Format:

24 cm. ; application/pdf

Resource Identifier:

oai:rcin.org.pl:19784

Source:

ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link

Language:

Rights:

Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony

Terms of use:

Zasób chroniony prawem autorskim. Korzystanie dozwolone w zakresie określonym przez przepisy o dozwolonym użytku.

Digitizing institution:

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Original in:

Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych

Projects co-financed by:

Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego

Access:

Subject and keywords:

Elektronika - czasopismo - materialy Materiały elektroniczne termiczne utlenianie Si CVD

Object collections:

Last modified:

Oct 2, 2020

In our library since:

Feb 11, 2013

Number of object content downloads / hits:

2946

All available object's versions:

https://rcin.org.pl./publication/10586

Show description in RDF format:

Show description in RDFa format:

Show description in OAI-PMH format:

MATERIAŁY ELEKTRONICZNE

Edition name	Date
Skrzynecka Irena, Badanie maskowania procesu termicznego utleniania krzemu przez chemicznie osadzane warstwy azotku krzemu	Oct 2, 2020

Objects Similar

Badania zależności składu i struktury chemicznie osadzonych warstw azotku krzemu od parametrów procesu technologicznego

Skrzynecka Irena

1974

Tekst

Ograniczenie zjawiska samodomieszkowania w epitaksji krzemu

Nossarzewska-Orłowska Elżbieta

1985

Tekst

Epitaksja odwrotna w technologii otrzymywania krzemowych przyrządów półprzewodnikowych

Nossarzewska-Orłowska Elżbieta

1978

Tekst

Modelowanie procesu epitaksji z fazy gazowej

Korec Jacek

1985

Tekst

Metoda dwutemperaturowego wzrostu krzemowych warstw epitaksjalnych

Borkowicz Jerzy

1975

Tekst

Epitaksja GaP/GaP z fazy gazowej dla przyrządów emitujących swiatło żółto-zielone. Własności strukturalne i elektrooptyczne

Strupiński Włodzimierz

1985

Tekst

Badania nad otrzymywaniem warstw epitaksjalnych arsenku galu z fazy gazowej w układzie otwartym Ga-AsCl3-H2

Brzozowski Waldemar

1973

Książka/Rozdział

Tendencje technologiczne w produkcji płytek krzemowych

Drzewiecki Paweł

1976

Tekst

More

Citation style:

iso690-author-date apa modern-language-association chicago-author-date

This page uses 'cookies'. More information