Otrzymywanie warstw SiCN metoda RF sputteringu = SiCN films deposited by RF magnetron sputtering - Digital Repository of Scientific Institutes

Skip to main menu
Skip to search engine
Skip to content
Skip to footer

Otrzymywanie warstw SiCN metoda RF sputteringu = SiCN films deposited by RF magnetron sputtering

Download

Title: Otrzymywanie warstw SiCN metoda RF sputteringu = SiCN films deposited by RF magnetron sputtering

Creator:

Stańczyk Beata

Date issued/created:

Resource type:

Subtitle:

Materiały Elektroniczne 2011 T.39 nr 2

Publisher:

Place of publishing:

Description:

Bibliogr. s. 23 ; 18-23 s. : il. 30 cm.

Relation:

Electronic Materials

Volume:

Issue:

Start page:

End page:

Detailed Resource Type:

Format:

application/pdf

Resource Identifier:

oai:rcin.org.pl:27810

Source:

ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link

Language:

Rights:

Rights Reserved - Free Access

Terms of use:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitizing institution:

Institute of Electronic Materials Technology

Original in:

Library of the Electronic Materials Technology Institute

Projects co-financed by:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Access:

Subject and keywords:

Electronic - journal - materials Electronic - materials RF sputtering SiCN absorption spectrum IR spectrum x-ray diffraction SIMS

Object collections:

Last modified:

Oct 2, 2020

In our library since:

May 15, 2013

Number of object content downloads / hits:

1629

All available object's versions:

https://rcin.org.pl./publication/17039

Show description in RDF format:

Show description in RDFa format:

Show description in OAI-PMH format:

MATERIAŁY ELEKTRONICZNE

Edition name	Date
Stańczyk Beata, 2011, Otrzymywanie warstw SiCN metoda RF sputteringu	Oct 2, 2020

Objects Similar

O defektach sieci przestrzennej kryształów badanych metodami rentgenowskimi = Lattice defects studied by x-ray methods

Badzian Andrzej

1984

Text

Rozwinięcie i zastosowanie darwinowskiej teorii dyfrakcji promieni rentgenowskich do określania struktury i składu chemicznego kryształów wielowarstwowych = Development and application of Darwin x-ray diffraction theory for structure and chemical composition determination in multilayered crystals

Wójcik Marek

2000

Text

Metoda badań rentgenowskich struktury pasmowej ciał stałych na przykładzie miedzi = X-ray examination method of solid state band structure, based on the example of copper

Badzian Andrzej

1981

Text

Numeryczne metody rozpłatania rentgenowskiego widma dyfrakcyjnego. Zastosowanie do badania supersieci półprzewodnikowych = The numerical x-ray peaks refinements applied to the semiconductor superlattice spectra

Gaca Jarosław

1992

Text

Badania metodami rentgenowskiej topografii dyfrakcyjnej defektów strukturalnych monokryształów Y2Al5O12 silnie domieszkowanych neodymem = The investigation of structural defects in the heavily Nd - doped YAG crystals by means of \\x-ray diffraction topography

Mazur Krystyna

1988

Text

Syntezy wysokociśnieniowe kryształów o strukturze typu diamentu i ich struiktura atomowa w świetle badań rentgenowskich = High pressure synthesis of diamond type structure phase and their atomic structure

Badzian Andrzej

1984

Text

Odwzorowywanie dyslokacji w krzemowych warstwach epitaksjalnych metodami odbiciowymi rentgenowskiej topografii dyfrakcyjnej = The images of dislocations in silocon epitaxial layers obtained with help of X-ray diffraction topographic methods

Wierzchowski Wojciech

1984

Text

Określanie koncentracji węgla w monokryształach GaP na podstawie widm absorpcyjnych w podczerwieni = Determination of carbon concentration in GaP single crystals from absorption spectra in infrared range

Strzelecka Stanisława

2007

Text

More

Citation style:

iso690-author-date apa modern-language-association chicago-author-date

This page uses 'cookies'. More information