Możdżonek Małgorzata ; Caban Piotr ; Gaca Jarosław ; Wójcik Marek ; Piątkowska Anna
Wyznaczanie grubości warstw BN na podłożu Al2O3 za pomocąspektroskopii FT-IR
Hexagonal boron nitride (h-BN) is an attractive material for applications in electronics. The technology of devices basedon BN requires non-destructive and fast methods of controlling the parameters of the produced layers. Boron nitride layersof different thickness were grown on sapphire substrates (Al2O3) using the MOCVD method. The obtained films werecharacterized by FT-IR spectroscopy using IRR and ATR techniques and by the XRR and SEM methods. We showed thatby analyzing the ATR or reflectance spectrum in the range of 600-2500 cm-1 we can measure the thickness of a BN layeron the Al2O3 substrate. Our measuring method allows measuring the layers with a thickness from ~2 nm to approx. 20 nm.
ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link
Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych
Działalność upowszechniająca naukę (DUN) ; Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego
Jan 22, 2021
Jan 22, 2021
206
https://rcin.org.pl./publication/190436
Edition name | Date |
---|---|
Możdżonek Małgorzata, 2020, Determination of the thickness of BN layers on the Al2O3substrate by FT-IR spectroscopy15 | Jan 22, 2021 |
Tomaszewski Henryk
Morawski Jerzy
Boniecki Marek
Pietrzak Katarzyna
Bukat Andrzej
Boniecki Marek