• Skip to main menu
• Skip to search engine
• Skip to content
• Skip to footer

• Search in all Repository
• Literature and maps
• Archeology
• Mills database
• Natural sciences

Search in Repository

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Name/Title Geographical location Relation Subject and Keywords

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Name/Title Geographical location Relation Subject and Keywords

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Literature and maps

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Title Relation Author/Creator Subject and Keywords Publisher Date issued/created Spatial coverage

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Title Relation Author/Creator Subject and Keywords Publisher Date issued/created Spatial coverage

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Archeology

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Name Localisation Object type Research Manager/ Creator of Collection Chronology Relation Characteristics of the object- raw material Accession number

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Name Localisation Object type Research Manager/ Creator of Collection Chronology Relation Characteristics of the object- raw material Accession number

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Mills database

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Unified name Localisation Object type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Unified name Localisation Object type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Natural sciences

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Herbarium acronym Accession number/Barcode Supra-generic category Latin name Polish name Localisation Collection date Collector/ Recorded by Type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Herbarium acronym Accession number/Barcode Supra-generic category Latin name Polish name Localisation Collection date Collector/ Recorded by Type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Nomenclature type

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Secured publication

Sending declined. Incorrect text from the image.

Sending declined. reCAPTCHA verification has failed.

This publication is unavailable to your account. If you have more privileged account please try to use it or contact with the institution connected to this digital library.

Type your email^* Type your reason^*

Enter the text above. ^*

Cancel Send

Object

Download bibliography description

• ris
• BibTeX
• EndNote
• Csv

• pl en

Subscribtion state has been changed.

Error while changing subscribtion state.

• Show content

Download

• Description
• Information
• Structure

Title: Chemiczne trawienie płytek krzemu w mieszaninie HNO3-HF-CH3COOH = Chemical etching of silicon wafers in a HNO3-HF-CH3COOH mixture

Creator:

Łazowy Barbara

Date issued/created:

1976

Resource type:

Text

More

Subtitle:

Materiały Elektroniczne 4(16)/1976

Publisher:

Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"

Place of publishing:

Warszawa

Description:

s. 60-[67] : il. ; 24 cm ; Bibliogr. s. [67]

Relation:

Electronic Materials

Volume:

16

Issue:

4

Start page:

60

End page:

67

Detailed Resource Type:

Article

Format:

application/pdf

Resource Identifier:

oai:rcin.org.pl:27266

Source:

ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link

Language:

pol

Rights:

Rights Reserved - Free Access

Terms of use:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitizing institution:

Institute of Electronic Materials Technology

Original in:

Library of the Institute of Electronic Materials Technology

Projects co-financed by:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Access:

Open

Subject and keywords:

Electronic - journal - material Electronic - material chenical etching silicon wafer

Object collections:

• Digital Repository of Scientific Institutes > Partners' collections > Łukasiewicz Research Network - Institute of Microelectronics and Photonics > Electronic Materials
• Digital Repository of Scientific Institutes > Literature > Books/Chapters

Last modified:

Oct 2, 2020

In our library since:

Apr 23, 2013

Number of object content downloads / hits:

3689

All available object's versions:

https://rcin.org.pl./publication/45236

Show description in RDF format:

RDF

Show description in RDFa format:

RDFa

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

• MATERIAŁY ELEKTRONICZNE
  • Materiały Elektroniczne 1973
  • Materiały Elektroniczne 1974
  • Materiały Elektroniczne 1975
  • Materiały Elektroniczne 1976
    • Materiały Elektroniczne 1976 nr 1(13)
    • Materiały Elektroniczne 1976 nr 2(14)
    • Materiały Elektroniczne 1976 nr 3(15)
    • Materiały Elektroniczne 1976 nr 4(16)
      • Spis treści 1976 nr 4(16)
      • Litwin A.A., Osobliwości wzrostu warstw epitaksjalnych z ograniczonej objętości roztworu ciekłego
      • Jakubicki Wojciech, Wzrost kryształów profilowanych z fazy ciekłej: Cz. 1. Analiza stanu zagadnienia
      • Drożdż Tadeusz, Wpływ temperatury i czasu spiekania warstwy metalicznej W-Mn na strukturę i własności wytrzymałościowe złącz ceramika alundowa-metal
      • Turski Tomasz, Pomiar ruchliwości dryftowej nośników ładunku w fotoczułych dielektrykach
      • Turski Tomasz, Impulsowy laser azotowy do badania ruchliwości dryftowej nośników ładunków w dielektrykach i półprzewodnikach
      • Nossarzewska-Orłowska Elżbieta, Krzemowe warstwy epitaksjalne o grubości powyżej 20 um
      • Łazowy Barbara, Chemiczne trawienie płytek krzemu w mieszaninie HNO3-HF-CH3COOH
  • Materiały Elektroniczne 1977
  • Materiały Elektroniczne 1978
  • Materiały Elektroniczne 1979
  • Materiały Elektroniczne 1980
  • Materiały Elektroniczne 1981
  • Materiały Elektroniczne 1982
  • Materiały Elektroniczne 1983
  • Materiały Elektroniczne 1984
  • Materiały Elektroniczne 1985
  • Materiały Elektroniczne 1986
  • Materiały Elektroniczne 1987
  • Materiały Elektroniczne 1988
  • Materiały Elektroniczne 1989
  • Materiały Elektroniczne 1990
  • Materiały Elektroniczne 1991
  • Materiały Elektroniczne 1992
  • Materiały Elektroniczne 1993
  • Materiały Elektroniczne 1994
  • Materiały Elektroniczne 1995
  • Materiały Elektroniczne 1996
  • Materiały Elektroniczne 1997
  • Materiały Elektroniczne 1998
  • Materiały Elektroniczne 1999
  • Materiały Elektroniczne 2000
  • Materiały Elektroniczne 2001
  • Materiały Elektroniczne 2002
  • Materiały Elektroniczne 2003
  • Materiały Elektroniczne 2004
  • Materiały Elektroniczne 2005
  • Materiały Elektroniczne 2006
  • Materiały Elektroniczne 2007
  • Materiały Elektroniczne 2008
  • Materiały Elektroniczne 2009
  • Materiały Elektroniczne 2010
  • Materiały Elektroniczne 2011
  • Materiały Elektroniczne 2012
  • Materiały Elektroniczne 2013
  • Materiały Elektroniczne 2014
  • Materiały Elektroniczne 2015
  • Materiały Elektroniczne 2016
  • Materiały Elektroniczne 2017
  • Materiały Elektroniczne 2018
  • Materiały Elektroniczne 2019
  • Materiały Elektroniczne 2020

Edition name	Date
Łazowy Barbara, Chemiczne trawienie płytek krzemu w mieszaninie HNO3-HF-CH3COOH	Oct 2, 2020

Objects Similar

Badanie powierzchniowej warstwy uszkodzonej na płytkach monokrystalicznych krzemu = Investigation of the damaged surface layer on monocrystalline silicon wafers

Łazowy Barbara

1980

Text

• ris
• BibTeX

Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu. - An investigation of the effect of deep chemical etching on the quality of silicon surface

Łazowy Barbara

1980

Text

• ris
• BibTeX

Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych = Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements

Piątkowski Bronisław

2012

Text

• ris
• BibTeX

Łączenie termiczne płytek krzemowych = Thermal bonding of silicon wafers

Zabierowski Piotr

1996

Text

• ris
• BibTeX

Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych = Some problems of improvement of geometrical parameters of polished silicon wafers

Piątkowski Bronisław

1978

Text

• ris
• BibTeX

Metoda kontrolowanego zaokrąglania płytek krzemowych = The method of the controllable silicon wafer edge rounding

Grudzieński Andrzej

1980

Text

• ris
• BibTeX

Generacja dyslokacyjnych linii poślizgu w płytkach krzemowych podczas procesu epitaksji = Generation of dislocation slips in Si wafers during epitaxial process

Nossarzewska-Orłowska Elżbieta

1995

Text

• ris
• BibTeX

Zastosowanie selektywnego trawienia chemicznego do określenia położenia ścięć bazowych na monokrystalicznych płytkach o orientacji (100) wiązków półprzewodnikowych typu AIIIBV Joanna Pawłowska, Anna Bańkowska. = Application of selective chemical etching to producing on the orientation flats on the wafers III-V semiconducting compounds

Pawłowska Joanna

2008

Text

• ris
• BibTeX

More

similar in FBC

More in FBC