Chromatograficzne metody analizy mieszanin gazowych H2+5% PH3, H2+10% AsH, H2+0,05% H2Se. Zastosowanie chromatografu z defektorem helowym w analizie gazów do celów półprzewodnikowych = Chromatographic methods of analysis of H2+5% PH3, H2+10% AsH3, H2+0,05% H2Se gas. The use of chromatography with a helicum detector in the analysis of gases for semiconductor manufacturing - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych

Przejdź do menu głównego
Przejdź do wyszukiwarki
Przejdź do treści
Przejdź do stopki

Chromatograficzne metody analizy mieszanin gazowych H2+5% PH3, H2+10% AsH, H2+0,05% H2Se. Zastosowanie chromatografu z defektorem helowym w analizie gazów do celów półprzewodnikowych = Chromatographic methods of analysis of H2+5% PH3, H2+10% AsH3, H2+0,05% H2Se gas. The use of chromatography with a helicum detector in the analysis of gases for semiconductor manufacturing

Pobierz

Tytuł: Chromatograficzne metody analizy mieszanin gazowych H2+5% PH3, H2+10% AsH, H2+0,05% H2Se. Zastosowanie chromatografu z defektorem helowym w analizie gazów do celów półprzewodnikowych = Chromatographic methods of analysis of H2+5% PH3, H2+10% AsH3, H2+0,05% H2Se gas. The use of chromatography with a helicum detector in the analysis of gases for semiconductor manufacturing

Twórca:

Data wydania/powstania:

Typ zasobu:

Inny tytuł:

Proceedings of ONPMP 1977 nr 12

Współtwórca:

Wiśniewski Romuald

Wydawca:

Wydaw. Przem. Masz.

Miejsce wydania:

Opis:

3-26 s. : il. ; 24 cm. ; Bibliogr. s. 26

Czasopismo/Seria/cykl:

Proceedings of ONPMP

Zeszyt:

Strona pocz.:

Strona końc.:

Szczegółowy typ zasobu:

Format:

application/pdf

Identyfikator zasobu:

oai:rcin.org.pl:29238

Źródło:

ITME, sygn. dostępny ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

Prawa:

Rights Reserved - Free Access

Zasady wykorzystania:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitalizacja:

Institute of Electronic Materials Technology

Lokalizacja oryginału:

Library of the Electronic Materials Technology Institute

Dofinansowane ze środków:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Dostęp:

Temat i słowa kluczowe:

Electronic - journal - material Electronic materials gas chromatography helium detector gas analysis

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

2 paź 2020

Data dodania obiektu:

11 cze 2013

Liczba pobrań / odtworzeń:

2575

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://rcin.org.pl./publication/17296

Wyświetl opis w formacie RDF:

Wyświetl opis w formacie RDFa:

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

PRACE ITME
- PRACE ONPMP
- PRACE ITME

Nazwa wydania	Data
Wolnik Irena, Chromatograficzne metody analizy mieszanin gazowych H2+5% PH3, H2+10% AsH, H2+0,05% H2Se. Zastosowanie chromatografu z defektorem helowym w analizie gazów do celów półprzewodnikowych	2 paź 2020

Obiekty Podobne

Zastosowanie chromatografii gazowej do analizy mieszanin gazowych wodoru lub argonu z fosforowodorem

Wolnik Irena

1973

Tekst

Oznaczanie tlenu i pary wodnej w gazowym chlorowodorze

Wolnik Irena

1973

Książka/Rozdział

Oznaczanie zanieczyszczeń organicznych w niektórych rozpuszczalnikach stosowanych w przemyśle elektronicznym

Wolnik Irena

1982

Tekst

Oznaczanie zanieczyszczeń w mieszaninach azotu z silanem

Wolnik Irena

1975

Tekst

Helowe wykrywacze nieszczelności. Budowa i zastosowanie

Taczanowski Andrzej

1986

Tekst

Określenie przy pomocy wykrywacza helowego granicznych wartości nieszczelności w obudowach do układów scalonych

Taczanowski Andrzej

1974

Tekst

Spis treści. Vol. 45 No. 2-4 [2017]

Materiały Elektroniczne

2017

Książka/Rozdział

Materiały Elektroniczne

2020

Książka/Rozdział

Więcej

Styl cytowania:

iso690-author-date apa modern-language-association chicago-author-date

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji