• Skip to main menu
• Skip to search engine
• Skip to content
• Skip to footer

• Search in all Repository
• Literature and maps
• Archeology
• Mills database
• Natural sciences

Search in Repository

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Name/Title Geographical location Relation Subject and Keywords

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Name/Title Geographical location Relation Subject and Keywords

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Literature and maps

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Title Relation Author/Creator Subject and Keywords Publisher Publishing date Spatial coverage

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Title Relation Author/Creator Subject and Keywords Publisher Publishing date Spatial coverage

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Archeology

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Name Localisation Object type Research Manager/ Creator of Collection Chronology Relation Characteristics of the object- raw material Accession number

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Name Localisation Object type Research Manager/ Creator of Collection Chronology Relation Characteristics of the object- raw material Accession number

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Mills database

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Unified name Localisation Object type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Unified name Localisation Object type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Search in Natural sciences

Search field Search

How to search... Advanced search

Advanced search

Close

All fields Search in content Herbarium acronym catalogNumber/barcode Supra-generic category Latin name Polish name Localisation Collection date Collector/ Recorded by Type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

and or

Herbarium acronym catalogNumber/barcode Supra-generic category Latin name Polish name Localisation Collection date Collector/ Recorded by Type

A.D. B.C.

A.D. B.C.

Remove

Add query element

Nomenclature type

Object contains the geographical coordinates

How to search...

Search

Secured publication

Sending declined. Incorrect text from the image.

Sending declined. reCAPTCHA verification has failed.

This publication is unavailable to your account. If you have more privileged account please try to use it or contact with the institution connected to this digital library.

Type your email^* Type your reason^*

Enter the text above. ^*

Cancel Send

Object

Download bibliography description

• ris
• BibTeX
• EndNote
• Csv

• pl en

Subscribtion state has been changed.

Error while changing subscribtion state.

• Show content

Download

• Description
• Information
• Structure

Title: Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych = Influence of polishing condictins on surface roughness of silicon wafers

Creator:

Czerwińska Anna

Date issued/created:

1978

Resource type:

Text

More

Subtitle:

Proceedings of ONPMP 1978 z. 2

Contributor:

Bielecki Krzysztof ; Piątkowski Bronisław

Publisher:

Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"

Place of publishing:

Warszawa

Description:

12-20 s. : il. 24 cm.

Relation:

Proceedings of ONPMP

Issue:

2

Start page:

12

End page:

20

Detailed Resource Type:

Article

Format:

application/pdf

Resource Identifier:

oai:rcin.org.pl:29348

Source:

ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link

Language:

pol

Rights:

Rights Reserved - Free Access

Terms of use:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitizing institution:

Institute of Electronic Materials Technology

Original in:

Library of the Electronic Materials Technology Institute

Projects co-financed by:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Access:

Open

Subject and keywords:

Electronic - journal - material Electronic materials polishing surface roughness

Object collections:

• Digital Repository of Scientific Institutes > Partners' collections > Łukasiewicz Research Network - Institute of Microelectronics and Photonics > ITME works
• Digital Repository of Scientific Institutes > Literature > Books/Chapters

Last modified:

Oct 2, 2020

In our library since:

Jun 13, 2013

Number of object content downloads / hits:

693

All available object's versions:

https://rcin.org.pl./publication/17317

Show description in RDF format:

RDF

Show description in RDFa format:

RDFa

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

• PRACE ITME
  • PRACE ONPMP
    • Olesińska Wiesława, Badania nad złączami metal-szafir i szafir-lukalox
    • Nowacki Janusz, Materiały z tworzyw sztucznych do elementów optoelektronicznych
    • Jeske Witold, Monokryształy krzemu - ich własności oraz metody i urządzenia do ich wytwarzania
    • Patryas Z., Analiza platyny i rodu za pomocą spektrometru masowego
    • Wiraszka Marek, Wpływ wybranych zanieczyszczeń metalicznych na niektóre parametry elektryczne i perfekcję strukturalną krzemowych warstw epitaksjalnych
    • Pietras Edward, Niektóre problemy związane z jakością materiału wyjściowego w technologii krzemowych przyrządów półprzewodnikowych
    • Lejbrandt Marek, Spiekane podkładki kompensacyjne WNiCu do tyrystorów małej mocy
    • Nossarzewska-Orłowska Elżbieta, Niektóre defekty obserwowane w homoepitaksjalnych warstwach krzemu
    • Lejbrandt Marek, Spiekanie aktywowane molibdenu
    • Małecki Jerzy, Badanie kinetyki odwęglania stopu FeNi29Co17 /kowar/ w środowisku gazowym H2 + H2O. Cz. I.: Badania nad szybkością dyfuzji węgla w stopie FeNi29Co17
    • Małecki Jerzy, Badanie kinetyki odwęglania stopu FeNi29Co17 /kowar/ w środowisku gazowym H2 + H2O. Cz. II.: Badania wpływu różnych punktów rosy środowiska gazowego H2 + H2O na przebieg procesu odwęglania stopu FeNi29Co17
    • Włosiński Władysław, Zjawiska dyfuzyjne w granicznych warstwach połączeń ceramika-metal w aspekcie potymalizacji technologii
    • Wolnik Irena, Chromatograficzne metody analizy mieszanin gazowych H2+5% PH3, H2+10% AsH, H2+0,05% H2Se. Zastosowanie chromatografu z defektorem helowym w analizie gazów do celów półprzewodnikowych
    • Cieślawski Andrzej, Badania właśności mechanicznych materiałów ceramicznych
    • Lasocka Maria, Niektóre zagadnienia tworzenia i stabilności niekrystalicznego stanu stałego na przykładzie układów chalkogenidowych
    • Pietras Edward, Problemy związane z jakością arsenku galu w technologii dyfuzyjnych diod elektroluminescencyjnych
    • Adamiec Maria, Procesy zachodzące w toku spiekania tworzyw o składzie stechiometrycznym ZrO2 - TiO2 domieszkowanych tlenkiem cynku
    • Kociszewski Longin, Problemy materiałowe w technologii wytwarzania włókien optycznych do światłowodów
    • Jaworska Hanna, Stosowanie i regeneracja rozpuszczalników w przemyśle elektronicznym
    • Cuber Wanda, Badanie wpływu warunków łączenia ceramiki korundowej z metalem na kinetykę tworzenia się warstwy spinelowej
    • Muszkat Wacław, Własności i zachowanie się warstw niklowych w złączach ceramika-metal
    • Piątkowski Bronisław, Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych
    • Czerwińska Anna, Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych
    • Witkowska Janina, Zastosowanie metody karbaminianowej do oznaczania śladowych ilości arsenu w trójchlorku fosforu, tlenochlorku fosforu i trójtlenku boru do celów półprzewodnikowych
    • Kamiński Paweł, Badania centrów defektowych poprzez pomiary termiczne lub optycznie stymulowanych prądów i pojemności złącz p-n i barier Schottky'ego
    • Boniecki Marek, Wpływ niektórych czynników technologicznych na przyczepność warstw metalicznych
    • Korec Jacek, Krzemowe warstwy homoepitaksjalne
    • Pietras Edward, Warunki generacji promieniowania w cynkowych warstwach dyfuzyjnych z arsenku galu
  • PRACE ITME

Edition name	Date
Czerwińska Anna, Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych	Oct 2, 2020

Objects Similar

Mechaniczno-chemiczne polerowanie monokrystalicznych płytek związków AIIIBV = Mechanical-chemical polishing of monocrystallic wafers of AIIIBV compounds

Otto Elżbieta

1981

Text

• ris
• BibTeX

Poprawa jakości polerowanych płytek SiC metodą chemicznego utleniania i obróbki termicznej. Badania jakości powierzchni metodami rentgenowskimi = Improvement of the quality of SiC wafers polished using chemical oxidation and heat treatment. Examination of the quality of the surface using X-ray technoques

Sakowska Halina

2012

Text

• ris
• BibTeX

Badanie zależności kinetycznych procesu polerowania płytek krzemowych = The kinetic dependences in the polishing of silicon wafers

Jaskólska Anna

1983

Text

• ris
• BibTeX

Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych = Some problems of improvement of geometrical parameters of polished silicon wafers

Piątkowski Bronisław

1978

Text

• ris
• BibTeX

Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych = Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements

Piątkowski Bronisław

2012

Text

• ris
• BibTeX

Spis treści. Vol. 45 No. 2-4 [2017]

Materiały Elektroniczne

2017

Book/Chapter

• ris
• BibTeX

Electronic Materials

2020

Book/Chapter

• ris
• BibTeX

Spis treści. T.42 Nr 4 [2014]

2014

Book/Chapter

• ris
• BibTeX

More

similar in FBC

More in FBC