- About project
- Collections
- Indexes
- Recently viewed
-
RCIN Repositories
-
INSTYTUT ARCHEOLOGII I ETNOLOGII POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT BADAŃ LITERACKICH POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT BADAWCZY LEŚNICTWA
-
INSTYTUT BIOLOGII DOŚWIADCZALNEJ IM. MARCELEGO NENCKIEGO POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT BIOLOGII SSAKÓW POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT CHEMII FIZYCZNEJ PAN
-
INSTYTUT CHEMII ORGANICZNEJ PAN
-
INSTYTUT FILOZOFII I SOCJOLOGII PAN
-
INSTYTUT GEOGRAFII I PRZESTRZENNEGO ZAGOSPODAROWANIA PAN
-
INSTYTUT HISTORII im. TADEUSZA MANTEUFFLA POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT JĘZYKA POLSKIEGO POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT MATEMATYCZNY PAN
-
INSTYTUT MEDYCYNY DOŚWIADCZALNEJ I KLINICZNEJ IM.MIROSŁAWA MOSSAKOWSKIEGO POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT PODSTAWOWYCH PROBLEMÓW TECHNIKI PAN
-
INSTYTUT SLAWISTYKI PAN
-
SIEĆ BADAWCZA ŁUKASIEWICZ - INSTYTUT TECHNOLOGII MATERIAŁÓW ELEKTRONICZNYCH
-
MUZEUM I INSTYTUT ZOOLOGII POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
INSTYTUT BADAŃ SYSTEMOWYCH PAN
-
INSTYTUT BOTANIKI IM. WŁADYSŁAWA SZAFERA POLSKIEJ AKADEMII NAUK
-
Object
Title: Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu = Bosch process for silicon plasma etching
Subtitle:
Materiały Elektroniczne 2011 T.39 nr 2
Contributor:
Publisher:
Place of publishing:
Description:
Bibliogr. s. 34 ; 31-34 s. : il. 30 cm.
Relation:
Volume:
Issue:
Start page:
End page:
Detailed Resource Type:
Format:
Resource Identifier:
Source:
Language:
Rights:
Terms of use:
Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms
Digitizing institution:
Institute of Electronic Materials Technology
Original in:
Library of the Electronic Materials Technology Institute
Projects co-financed by:
Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund
Access:
Object collections:
- Digital Repository of Scientific Institutes > Partners' collections > Łukasiewicz Research Network - Institute of Microelectronics and Photonics > Electronic Materials
- Digital Repository of Scientific Institutes > Literature > Books/Chapters
Last modified:
Oct 2, 2020
In our library since:
May 15, 2013
Number of object content downloads / hits:
1318
All available object's versions:
https://rcin.org.pl./publication/17044
Show description in RDF format:
Show description in RDFa format:
Show description in OAI-PMH format:
| Edition name | Date |
|---|---|
| Góra Krzysztof, Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu | Oct 2, 2020 |
Objects Similar
Sokołowska Wanda
Stankiewicz, Rafał.
