Tytuł:

Mask shop at the Institute of Electronic Materials Technology

Inny tytuł:

MST News Poland 1997 nr 3(7)

Twórca:

Dobrzański Lech

Współtwórca:

Kowalik Andrzej

Wydawca:

Institute of Electronic Materials Technology

Miejsce wydania:

Warszawa

Data wydania/powstania:

1997

Opis:

s. 17-18 : il. 30 cm

Typ obiektu:

Książka/Rozdział

Temat i słowa kluczowe:

litografia submikronowa ; maska

Czasopismo/Seria/cykl:

MST News Poland

Zeszyt:

3

Strona pocz.:

17

Strona końc.:

18

Typ zasobu:

Tekst

Szczegółowy typ zasobu:

Artykuł

Format:

application/pdf

Źródło:

ITME, sygn. ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Prawa:

Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony

Zasady wykorzystania:

Zasób chroniony prawem autorskim. Korzystanie dozwolone w zakresie określonym przez przepisy o dozwolonym użytku.

Digitalizacja:

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Lokalizacja oryginału:

Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych

Dofinansowane ze środków:

Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego

Dostęp:

Otwarty