Język metadanych
Badanie powierzchniowej warstwy uszkodzonej na płytkach monokrystalicznych krzemu
Inny tytuł:Materiały Elektroniczne 1979 nr 1(25)
Twórca: Wydawca:Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
Miejsce wydania: Data wydania/powstania: Opis:s. 44-[47] : il. ; Bibliogr. s. [47]
Temat i słowa kluczowe:Elektronika - czasopismo - materiały ; Materiały elektroniczne ; płytka krzemowa ; warstwa uszkodzona
Czasopismo/Seria/cykl: Tom: Zeszyt: Strona pocz.: Strona końc.: Typ zasobu: Szczegółowy typ zasobu: Format: Źródło:ITME, sygn. dostępny ; kliknij tutaj, żeby przejść
Język: Prawa:Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Zasady wykorzystania: Digitalizacja:Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Lokalizacja oryginału:Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych
Dofinansowane ze środków:Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego
Dostęp: