Tytuł:

Chemiczne trawienie płytek krzemu w mieszaninie HNO3-HF-CH3COOH = Chemical etching of silicon wafers in a HNO3-HF-CH3COOH mixture

Inny tytuł:

Materiały Elektroniczne 4(16)/1976

Twórca:

Łazowy Barbara

Wydawca:

Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"

Miejsce wydania:

Warszawa

Data wydania/powstania:

1976

Opis:

s. 60-[67] : il. ; 24 cm ; Bibliogr. s. [67]

Temat i słowa kluczowe:

Electronic - journal - material ; Electronic - material ; chenical etching ; silicon wafer

Czasopismo/Seria/cykl:

Electronic Materials

Tom:

16

Zeszyt:

4

Strona pocz.:

60

Strona końc.:

67

Typ zasobu:

Text

Szczegółowy typ zasobu:

Article

Format:

application/pdf

Źródło:

ITME, sygn. dostępny ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

pol

Prawa:

Rights Reserved - Free Access

Zasady wykorzystania:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitalizacja:

Institute of Electronic Materials Technology

Lokalizacja oryginału:

Library of the Institute of Electronic Materials Technology

Dofinansowane ze środków:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Dostęp:

Open