Język metadanych
A note on optical materials for photolithography applications
Twórca:Jain, A. ; Roszkiewicz, A. ; Nasalski, W.
Wydawca: Miejsce wydania: Data wydania/powstania: Typ obiektu: Czasopismo/Seria/cykl:IPPT Reports on Fundamental Technological Research
Typ zasobu: Język: Prawa:Licencja Creative Commons Uznanie autorstwa 4.0
Zasady wykorzystania:Zasób chroniony prawem autorskim. [CC BY 4.0 Międzynarodowe] Korzystanie dozwolone zgodnie z licencją Creative Commons Uznanie autorstwa 4.0, której pełne postanowienia dostępne są pod adresem: ; -
Digitalizacja:Instytut Podstawowych Problemów Techniki Polskiej Akademii Nauk
Dostęp: