Title:

Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji

Subtitle:

Materiały Elektroniczne. T. 42 Nr 2

Creator:

Smoczyński, Dariusz

Publisher:

ITME

Place of publishing:

Warszawa

Date issued/created:

2014

Description:

Bibliogr. s.: 12 ; 5.: 5-12 il., 30 cm.

Type of object:

Książka/Rozdział

Subject and Keywords:

GaSb ; obróbka mechaniczno-chemiczna ; utlenianie katalityczne ; epitaksja

References:

s.: 12

Relation:

Materiały Elektroniczne T. 42 Nr 2 2014

Volume:

42

Issue:

2

Start page:

5

End page:

12

Resource type:

Tekst

Detailed Resource Type:

Artykuł

Format:

30 cm ; application/pdf

Source:

click here to follow the link

Language:

pol

Rights:

Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony

Terms of use:

Zasób chroniony prawem autorskim. Korzystanie dozwolone w zakresie określonym przez przepisy o dozwolonym użytku.

Digitizing institution:

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Original in:

Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych

Projects co-financed by:

Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego

Access:

Otwarty