Title:

Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych

Subtitle:

Prace ONPMP 1978 z. 2

Creator:

Piątkowski Bronisław

Contributor:

Czerwińska Anna ; Bielecki Krzysztof

Publisher:

Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"

Place of publishing:

Warszawa

Date issued/created:

1978

Description:

3-11 s. : il. 24 cm.

Subject and Keywords:

Materiały elektroniczne ; Elektronika - czasopismo - materiały ; parametr geometryczny ; polerowana płytka krzemowa

Relation:

Prace ONPMP

Issue:

2

Start page:

3

End page:

11

Resource type:

Tekst

Detailed Resource Type:

Artykuł

Format:

application/pdf

Resource Identifier:

11

Source:

ITME, sygn. dostępny ; kliknij tutaj, żeby przejść

Language:

pol

Rights:

Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony

Terms of use:

Zasób chroniony prawem autorskim. Korzystanie dozwolone w zakresie określonym przez przepisy o dozwolonym użytku.

Digitizing institution:

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Original in:

Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych

Projects co-financed by:

Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego

Access:

Otwarty