Tytuł:

Niektóre defekty obserwowane w homoepitaksjalnych warstwach krzemu = Some of observed defects in silicon homoepitaxial layers

Inny tytuł:

Proceedings of ONPMP 1976 nr 1[7]

Twórca:

Nossarzewska-Orłowska Elżbieta

Współtwórca:

Pawłowska Marta

Wydawca:

Wydaw. Przem. Masz.

Miejsce wydania:

Warszawa

Data wydania/powstania:

1976

Opis:

1-[9] s. : il. ; 24 cm. ; Bibliogr. s. [9]

Temat i słowa kluczowe:

Electronic - journal - material ; Electronic materials ; defect ; epitaxial layer ; Si

Czasopismo/Seria/cykl:

Proceedings of ONPMP

Zeszyt:

1(7)

Strona pocz.:

1

Strona końc.:

9

Typ zasobu:

Text

Szczegółowy typ zasobu:

Article

Format:

application/pdf

Źródło:

ITME, sygn. dostępny ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

pol

Prawa:

Rights Reserved - Free Access

Zasady wykorzystania:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitalizacja:

Institute of Electronic Materials Technology

Lokalizacja oryginału:

Library of the Electronic Materials Technology Institute

Dofinansowane ze środków:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Dostęp:

Open