Title:

Zastosowanie oprogramowania wspomagającego kontrolowanie procesu epitaksji związków półprzewodnikowych w technologii MOCVD

Subtitle:

Materiały Elektroniczne 2007 T.35 nr 3/4

Creator:

Wesołowski Marek

Publisher:

ITME

Place of publishing:

Warszawa

Date issued/created:

2007

Description:

19-30 s. : il. 24 cm. ; Bibliogr. s. 29

Subject and Keywords:

Elektronika - czasopismo - materiały ; Materiały elektroniczne ; MOCVD ; heterostruktura ; AIIIBV

Relation:

Materiały Elektroniczne

Volume:

35

Issue:

3/4

Start page:

19

End page:

30

Resource type:

Tekst

Detailed Resource Type:

Artykuł

Format:

application/pdf

Source:

ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link

Language:

pol

Rights:

Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony

Terms of use:

Zasób chroniony prawem autorskim. Korzystanie dozwolone w zakresie określonym przez przepisy o dozwolonym użytku.

Digitizing institution:

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Original in:

Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych

Projects co-financed by:

Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego

Access:

Otwarty