Język metadanych
Badania elipsometryczne krzemu implantowanego fosforem
Inny tytuł:Materiały Elektroniczne 1987 nr 2(58)
Twórca: Wydawca:Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
Miejsce wydania: Data wydania/powstania: Opis:s. 33-36 : il. ; Bibliogr. s. 36
Temat i słowa kluczowe:Materiały elektroniczne ; Elektronika - czasopismo - materiały ; Si ; elipsometria
Czasopismo/Seria/cykl: Tom: Zeszyt: Strona pocz.: Strona końc.: Typ zasobu: Szczegółowy typ zasobu: Format: Źródło:ITME, sygn. dostępny ; kliknij tutaj, żeby przejść
Język: Prawa:Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Zasady wykorzystania: Digitalizacja:Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Lokalizacja oryginału:Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych
Dofinansowane ze środków:Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego
Dostęp: