Title:

Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu

Subtitle:

Materiały Elektroniczne 1979 nr 4(28)

Creator:

Łazowy Barbara

Publisher:

Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"

Place of publishing:

Warszawa

Date issued/created:

1980

Description:

s. 33-[39] : il. ; Bibliogr. s. [39]

Subject and Keywords:

Elektronika - czasopismo - materiały ; Materiały elektroniczne ; trawienie chemiczne ; powierzchnia krzemu

Relation:

Materiały Elektroniczne

Volume:

28

Issue:

4

Start page:

33

End page:

39

Resource type:

Tekst

Detailed Resource Type:

Artykuł

Format:

24 cm. ; application/pdf

Source:

ITME, sygn. dostępny ; click here to follow the link

Language:

pol

Rights:

Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony

Terms of use:

Zasób chroniony prawem autorskim. Korzystanie dozwolone w zakresie określonym przez przepisy o dozwolonym użytku.

Digitizing institution:

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Original in:

Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych

Projects co-financed by:

Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego

Access:

Otwarty