@misc{Nossarzewska-Orłowska_Elżbieta_Epitaksja_1984,
 author={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta},
 volume={44},
 number={4},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={Electronic Materials},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={1984},
 publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"},
 language={pol},
 title={Epitaksja krzemu. Kierunki rozwoju = Silicon epitaxy. Trends},
 type={Text},
 URL={http://rcin.org.pl./Content/9107/PDF/WA901_12321_M1_r1983-z4-44_Mater-Elektroniczne_Nossarzewskai_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, silicon epitaxy, CVD, VLSI},
}