@misc{Nossarzewska-Orłowska_Elżbieta_Silicon_1996, author={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta}, editor={Zabierowski Piotr}, number={1}, copyright={Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony}, journal={MST News Poland}, address={Warszawa}, howpublished={online}, year={1996}, publisher={Institute of Electronic Materials Technology}, language={eng}, title={Silicon for MST applications}, type={Tekst}, URL={http://rcin.org.pl./Content/38998/PDF/WA901_r1996-z1_MST-Noss-silicon_i.pdf}, keywords={MST, krzem porowaty, epitaksja}, }