@misc{Piątkowski_Bronisław_Niektóre_1978,
 author={Piątkowski Bronisław},
 editor={Czerwińska Anna},
 editor={Bielecki Krzysztof},
 number={2},
 copyright={Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony},
 journal={Prace ONPMP},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={1978},
 publisher={Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"},
 language={pol},
 title={Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych},
 type={Tekst},
 URL={http://rcin.org.pl./Content/29347/PDF/WA901_17315_r1978-z2_Prace-ONPMP-Piatk_i.pdf},
 keywords={Materiały elektroniczne, Elektronika - czasopismo - materiały, parametr geometryczny, polerowana płytka krzemowa},
}