@misc{Dobiech_Teresa_Badanie_1982,
 author={Dobiech Teresa},
 volume={33/34},
 editor={Waczyński Krzysztof},
 editor={Kończak Sławomir},
 number={1/2},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={Electronic Materials},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={1982},
 publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"},
 language={pol},
 title={Badanie przydatności płytkowego źródła domieszek arsenu do krzemu = Investigation of use the solid planar source to dope silicon with arsenic},
 type={Text},
 URL={http://rcin.org.pl./Content/18801/PDF/WA901_11820_M1_r1981-z1-2-33-34_Mater-Elektron-Dob_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, Si, doping, As},
}