@misc{Institute_of_Electronic_Materials_Technology_Proceedings_2001,
 author={Institute of Electronic Materials Technology},
 volume={29},
 number={1/2},
 copyright={Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony},
 journal={Materiały Elektroniczne},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={2001},
 publisher={ITME},
 language={eng},
 title={Proceedings of the 1st Joint Seminar Poland-Japan on Micromachining: september 4, 2000},
 type={Tekst},
 URL={http://rcin.org.pl./Content/17659/PDF/WA901_21173_M1_r2001-t29-z1-2_Mater-Elektron-Kon_i.pdf},
 keywords={Elektronika - czasopismo - materiały, Materiały elektroniczne, MEMS, czujnik},
}